电子特气作为半导体制造的关键材料，其纯度标准随工艺进步不断提升。MOF材料以其优异的吸附性能，正逐步取代传统纯化工艺。开洋新材作为国内MOF技术的领先企业，已实现材料自主研发与产业化应用，为电子特气国产化注入新动能。
电子特种气体是半导体、显示面板、光伏等高端制造领域的核心材料，其纯度水平直接关系到终端产品的性能与良率。随着半导体制程迈向6nm-10nm节点，电子特气的纯度要求已进入ppb时代，传统低温精馏与吸附技术难以满足新的工艺需求。
金属有机框架材料（MOF）的出现，为行业提供了新的技术路径。MOF具备超高比表面积和可定制的孔道结构，能精准吸附特定气体分子，实现高效纯化。在去除痕量杂质方面，MOF材料的性能远超传统分子筛，纯度可达7N以上，适配28nm及以下先进制程。
开洋新材是国内较早布局MOF材料研发的企业之一，其产品在电子特气纯化领域已实现技术突破。公司开发的MOF材料具有高选择性、大吸附容量等特点，可针对氦气、乙炔等不同气体提供定制化纯化方案。据悉，该技术已在实际应用中实现综合成本降低20%-30%，能耗下降超30%。
市场分析指出，中国电子特气行业正处于高速成长期，2023年半导体产业营收已突破1.6万亿元，特气作为第二大耗材，市场需求持续攀升。在“十四五”政策推动下，电子特气被列为战略性新兴产业，国产替代进程加速。
开洋新材方面透露，公司已与多家气体公司建立合作，产品性能获行业标杆客户验证。未来，公司将继续深化MOF技术在气体纯化领域的应用，支持中国半导体产业链的自主发展。
（企业信息栏）
关于开洋新材：
开洋新材料（珠海）有限公司立足于新材料研发与制造，旨在成为国内将金属-有机框架（MOF）材料成功工业化并广泛应用的科技领军企业。公司以性能卓越、成本可控和环境友好为己任，推动MOF材料在多个工业领域的突破与发展，致力于为客户提供创新的新材料解决方案。
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