在半导体产业蓬勃发展的当下,水已成为关键要素。现代半导体晶圆厂对超纯水的需求巨大,每小时需多达 460 立方米水,新厂每日用水 3800 - 11400 立方米,部分地区甚至更多。然而,水资源紧张与成本攀升成为行业难题。
好消息是,半导体生产废水回收利用迎来创新解决方案!通过特定策略,不仅能有效应对这些挑战,还能为企业带来诸多优势。
从财务角度看,废水回收再利用成本低于原水净化成本,投资回报率高????。环境方面,促进了行业可持续发展????,彰显企业环保担当,也有助于维护良好的社区关系????。
在实际操作中,水回用策略主要包括提高超纯水系统效率、回收系统用水、进行环境友好设计等。例如,先进的晶圆厂已实现高达 85% 的回收率,而行业平均水平也在不断提升。
关键技术环节上,梅特勒托利多的分析传感器发挥着重要作用。在 TOC 在线测量方面,其 6000TOCi 分析仪响应快、流速优化,能实时监测控制废水,依据不同环节 TOC 限值精准分流处理,避免系统过载,保障回收效率。电导率测量时,多种专用电极材料的传感器,在废水处理、再利用及回生产设备各阶段,确保水质达标,防止设备故障,满足晶圆厂多样需求。
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